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管道紫外线光固化修复技术在半导体制造中被广泛应用,主要用于修复半导体器件表面的缺陷和伤。具体来说,管道紫外线光固化修复技术可以通过在缺陷处施加合适的波长和能量的紫外线光使其局部呈现高温、高压等条件,从而使缺陷区域的单晶硅溶解并重新结晶,最终实现缺陷的修复和表面的平整化。这种技术可以有效提高芯片质量、减少生产成本,并且具有高效、快速、无染等优点。随着微电子技术的不断发展,管道紫外线光固化修复技术在半导体制造中的应用也将越来越重要。 ?

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管道紫外线光固化修复技术在半导体制造中的应用

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